每日經(jīng)濟新聞 2025-03-18 16:32:15
每經(jīng)AI快訊，3月18日，漢鐘精機在投資者互動平臺回答稱，公司的干式螺桿以及多級魯式和旋片泵系列真空產(chǎn)品，已獲得 SEMI 安全基準驗證證書，能滿足于生產(chǎn)最先進半導體制程工藝以及各種清潔及嚴苛制程段所需的高真空場景。目前與國內(nèi)的部分機臺商、晶圓廠都有合作，但量還較少，對業(yè)績影響不大。
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