每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-12-05 16:44:16
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司用于半導(dǎo)體光刻膠的缺陷檢測掃描電鏡，可用于那一類的光刻膠g線，i 線，KrF，ArF？
鋼研納克（300797.SZ）12月5日在投資者互動平臺表示，公司子公司納克微束生產(chǎn)的場發(fā)射掃描電鏡可以用于相關(guān)材料缺陷分析，分辨率達(dá)到了納米級。
(記者 蔡鼎)
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