每經(jīng)記者 朱成祥    每經(jīng)編輯 梁梟    

在第六屆進(jìn)博會開幕前夕，“光刻巨人”ASML（阿斯麥）于10月26日在上海張江舉行展前溝通會。ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波接受了《每日經(jīng)濟新聞》記者在內(nèi)的媒體群訪。

沈波首先講述了ASML參展進(jìn)博會的亮點。這是ASML第五次參加進(jìn)博會，其將以“光刻未來，攜手同行”為主題，亮相國家會展中心技術(shù)裝備區(qū)集成電路專區(qū)。

光刻機難在何處？

關(guān)于進(jìn)博會展出情況，沈波表示：“平時公司大多（數(shù)）設(shè)備產(chǎn)品都放在潔凈室，對環(huán)境的要求非常高。因此，我們只能讓大家，通過各種虛擬的方式感受ASML的產(chǎn)品，包括產(chǎn)品的工作方式。”

他表示：“今年我們展臺分為三塊，中間這一塊希望著重地讓大家理解芯片制造全流程和ASML的全景光刻解決方案。我們希望通過進(jìn)博會平臺，讓大家對ASML有一個更客觀、更全面的認(rèn)識。著力讓大家理解，在芯片廠里面，ASML能夠幫客戶做什么。”

對于光刻機為什么這么難？沈波表示：“我們的光刻機每小時能處理多達(dá)300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機中曝光時間只有十幾秒。這十幾秒，機器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據(jù)產(chǎn)品種類和設(shè)計的差異需要產(chǎn)生100束光左右，每一束光都會有區(qū)別，并且在實時調(diào)整。這個過程是非常復(fù)雜、非常精細(xì)的。”

ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波

圖片來源：企業(yè)供圖

沈波補充表示：“光刻環(huán)節(jié)，處于上千道工序里面最核心的位置。量產(chǎn)芯片廠，產(chǎn)品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問題，芯片最后出來就可能不是一個合格的產(chǎn)品，這對芯片廠是巨大的成本。在我們看來，光刻擔(dān)負(fù)的使命是讓整個工藝獲得一個非常好的窗口，在其他工序控制起來有難度、有偏差的地方，希望在光刻領(lǐng)域工藝窗口做得大一些，留一點余量給其他環(huán)節(jié)。因此，很大壓力都會放在光刻環(huán)節(jié)上。”

此外，沈波也介紹了計算光刻。他表示：“芯片生產(chǎn)過程中，光的衍射效應(yīng)非常明顯。舉個例子，如果想得到一個正方形，我們在設(shè)計光罩的時候可能需要設(shè)計成圓形。簡單說，想得到的芯片圖形與設(shè)計的光罩圖形有非常大的差異。計算光刻扮演的角色，就是通過大量模型的建立，把這些物理效應(yīng)充分考慮進(jìn)去。”

ASML怎樣助力晶圓廠？

在提問環(huán)節(jié)，《每日經(jīng)濟新聞》記者提問道：“您認(rèn)為我國現(xiàn)在半導(dǎo)體未來的發(fā)展方向是哪里？未來重點發(fā)展在哪些方向？”

沈波回復(fù)稱：“芯片這個行業(yè)的發(fā)展到現(xiàn)在已經(jīng)超過60年時間了，從集成電路發(fā)明到現(xiàn)在，一直沿著自己的規(guī)律在往前走。如果我們?nèi)タ粗袊@個產(chǎn)業(yè)里面最有影響的地方在哪？可以從不同終端市場來看。”

舉例來說，根據(jù)公開數(shù)據(jù)，家電行業(yè)，中國是家電和消費電子產(chǎn)品的最大消費國與生產(chǎn)國之一，預(yù)計2023年中國在該領(lǐng)域最高將創(chuàng)造1530億美元的收入，約占全球的30%；汽車行業(yè)，根據(jù)中國汽車工業(yè)協(xié)會的最新統(tǒng)計數(shù)據(jù)，中國新能源汽車的增長速度連續(xù)八年保持世界第一；儲能行業(yè)，截至2022年底，中國已投運的電力儲能項目累計裝機容量為59.8GW，占全球市場總量的25%，年增長率為38%；另外，中國企業(yè)供應(yīng)了全球約80%的多晶硅、太陽能電池和組件。

這是芯片應(yīng)用的終端。落到芯片制造領(lǐng)域，哪些市場值得關(guān)注呢？沈波表示：“我們自己看來，先進(jìn)制程芯片從數(shù)量上講是相對較小的，絕大多數(shù)是成熟制程芯片。我覺得，對于中國來講，這么大終端市場需求推動下，把最大頭成熟制程芯片做到非常具有競爭力的水平，對咱們這個行業(yè)來講是最高效的，可以達(dá)到一個事半功倍的效果，有助于提高投入產(chǎn)出比。”

目前中國成熟制程有多大進(jìn)步空間呢？沈波繼續(xù)講述：“成熟制程這個領(lǐng)域里面，能把中國的成熟制程做到全世界非常具有競爭力的水平，可能在未來相當(dāng)長的一段時間里面大家還有大量的工作要做。尤其是在現(xiàn)在這種大環(huán)境下，從產(chǎn)業(yè)鏈的各個環(huán)節(jié)來看都需要一起通力合作，我們怎么能把這塊做到在全球范圍內(nèi)都是非常有競爭力的，是一個值得考慮和努力的方向。”

《每日經(jīng)濟新聞》記者追問：“在先進(jìn)制程發(fā)展受到制約的背景下，很多晶圓工廠大力發(fā)展特色工藝，比如BCD（一種單片集成工藝技術(shù)）或者高壓顯示驅(qū)動。ASML在人員上是否在特色工藝領(lǐng)域給予晶圓廠一些支持呢？”

沈波回復(fù)道：“中國市場就像一個縮小的全球市場，很多樣化，各種各樣的客戶、不同的產(chǎn)品都有。此外，ASML對客戶的服務(wù)，并不僅是機器壞了去把它修好再重新運行，并非這么簡單的服務(wù)。ASML對所有客戶而言，很大的附加值是幫客戶把機器用得好。通過我們的服務(wù)，讓客戶工藝流程能夠做得更好。這個過程，有很多需要優(yōu)化、需要調(diào)整的地方，這就需要服務(wù)團隊與客戶一起，根據(jù)工藝需求去做針對性的調(diào)整。”

“這是我們一直對所有客戶都在做的事情。我們面對不同的應(yīng)用，都有相應(yīng)的技術(shù)人員，跟客戶的技術(shù)人員合作，幫助客戶把它的工藝開發(fā)出來，把工藝做得更好。我們的服務(wù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過維修這個范疇。”沈波總結(jié)道。

封面圖片來源：企業(yè)供圖