每日經(jīng)濟新聞 2023-03-22 17:06:08
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司募集資金采購的上海微電子Arf干式光刻機屬于前道光刻機嗎？是否可用于邏輯芯片的生產(chǎn)？
燕東微（688172.SH）3月22日在投資者互動平臺表示，公司募集資金用于12吋晶圓生產(chǎn)線建設(shè)，月產(chǎn)能 4 萬片，工藝節(jié)點為 65nm，產(chǎn)品定位為高密度功率器件、顯示驅(qū)動 IC、電源管理 IC、硅光芯片等。
(記者 陳鵬程)
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