每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-03-21 15:16:49
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：董秘您好，請介紹下公司在研項(xiàng)目第三代安全源產(chǎn)品
南大光電（300346.SZ）3月21日在投資者互動平臺表示，第三代安全源產(chǎn)品主要賦予安全源產(chǎn)品高壓儲存、負(fù)壓輸出的功能，解決半導(dǎo)體晶圓制作廠商使用安全源時(shí)出現(xiàn)的氣體輸出壓力連續(xù)周期性振蕩及載氣密度不穩(wěn)定的問題。
(記者 王瀚黎)
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