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南大光電:公司ArF光刻膠目前主要聚焦28cm~90nm工藝節(jié)點的產品驗證

每日經濟新聞 2022-11-18 15:26:00

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:董秘,您好,根據(jù)關于媒體消息,貴司可用于14nm的ArF光刻膠開始投產,正在對客戶交付。是否如此?

南大光電(300346.SZ)11月18日在投資者互動平臺表示,公司ArF光刻膠目前主要聚焦28cm~90nm工藝節(jié)點的產品驗證。

(記者 陳鵬程)

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